AbstractsPhysics

Imaging Reflectometry Measuring Thin Films Optical Properties

by Tomáš Běhounek




Institution: Brno University of Technology
Department:
Year: 0
Keywords: Tenká vrstva; optické vlastnosti; reflektometrie; disperzní model; odrazivost; spektrum odra\-zivosti; nelineární regrese; metoda nejmenších čtverců; Levenberg~-~Marquardt; analýza citlivosti; faktor spolehlivosti; zpracování obrazu; aditivní šum; obrazový filtr; Thin film; optical properties; reflectometry; dispersion model; reflectance; reflectance spectra; nonlinear regression; sum of the least squares; Levenberg~-~Marquardt; sensitivity analysis; reliability factor; image processing; additive noise; image filter
Record ID: 1097979
Full text PDF: http://hdl.handle.net/11012/18281


Abstract

V této práci je prezentována inovativní metoda zvaná \textit{Zobrazovací Reflektometrie}, která je založena na principu spektroskopické reflektometrie a je určena pro vyhodnocování optických vlastností tenkých vrstev .\ Spektrum odrazivosti je získáno z map intenzit zaznamenaných CCD kamerou. Každý záznam odpovídá předem nastavené vlnové délce a spektrum odrazivosti může být určeno ve zvoleném bodu nebo ve vybrané oblasti.\ Teoretický model odrazivosti se fituje na naměřená data pomocí Levenberg~-~Marquardtova algoritmu, jehož výsledky jsou optické vlastnosti vrstvy, jejich přesnost, a určení spolehlivosti dosažených výsledků pomocí analýzy citlivosti změn počátečních nastavení optimalizačního algoritmu.; An innovative method of evaluating thin film optical properties, the so called {\it Imaging Reflectometry} based on principles of spectroscopic reflectometry is presented in this thesis.\ Reflectance spectra of the film is extracted from intensity maps recorded by CCD camera, that correspond to chosen wavelengths, either over selected area or at one point.\ A theoretical model of reflectance is fitted to experimental data (the extracted reflectance spectra) by applying Levenberg~-~Marquardt algorithm in order to determine optical properties, their accuracy and reliability factor used to quantify a convergence successfulness of the reflectance model and hence the quality of the acquired results at given settings in a sense of a sensitivity analysis.